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发帖时间:2024-10-27 23:20:05
原问题:5nm芯片无需光刻机!芯片中国科技公司已经恳求制作专利
【手机中国往事】9月15日,无需手机中国留意到 ,光刻国科天眼查App展现 ,机中技公经恳上海创消新技术睁开有限公司恳求的司已“5纳米芯片制作的直接蚀刻措施”专利宣告 。摘要展现 ,求制该缔造波及芯片妄想及制作 ,作专妄想是芯片:按5nm蚀刻线宽妄想芯片邦畿,妄想蚀刻掩模版后